摘要: 随着科技的发展,半导体元器件小型化、高性能、轻量化的需求日益迫切,塑封倒装焊技术得到了广泛应用。因为基板的易形变性及各封装材料间的热膨胀系数不匹配,Bump Crack成为影响封装可靠性的重要因素之一。为了研究倒装焊产品在封装制程中Bump Crack的失效原因,利用有限元分析(ANSYS)软件建立倒装焊塑封封装体有限元模型,模拟Reflow过程中的塑封基板形变与凸点应力分布,并分析Bump Crack失效的原因。结果表明,在Reflow过程中,基板形变量大于裸芯,外围凸点倾斜较大,承受的应力及应变能最大,外沿凸点为最易失效点,采用加Boat作业可显著降低失效风险。