可变高应力氮化硅薄膜的内应力研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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可变高应力氮化硅薄膜的内应力研究

孙建洁;张可可;陈全胜

Studyof Internal Stress in Variable High Stress SiN Films

SUN Jianjie,ZHANG Keke, CHEN Quansheng

电子与封装 . 2022, (7): 70403 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0710