中国半导体行业协会封装分会会刊
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基于陶瓷衬底的薄膜再布线工艺及组装可靠性研究
朱喆,黄陈欢,李林森,刘俊夫
Thin Film Rerouting Process and Assembly Reliability Study Based on Ceramic Substrate
ZHU Zhe, HUANG Chenhuang, LI Linsen, LIU Junfu
电子与封装 . 2023, (
10
): 100208 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0167