半导体生产企业设备备件管理探讨

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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半导体生产企业设备备件管理探讨

薛文卿，胡　超，尤　春

Discussion on Equipment Spare Parts Management in Semiconductor Manufacturing

XUE Wenqing, HU Chao, YOU Chun

电子与封装 . 2019, (2): 45 -48 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0023