基于LTCC 技术的加速度计制造方法

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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基于LTCC 技术的加速度计制造方法

唐小平，卢会湘，严英占

Fabrication Method of Accelerometer Base on LTCC Technology

TANG Xiaoping,LU Huixiang,YAN Yingzhan

电子与封装 . 2019, (6): 6 -8 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0602