圆片测试中探针接触电阻的影响与改善方法

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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圆片测试中探针接触电阻的影响与改善方法

张鹏辉，张凯虹

Influence of Probe Contact Resistance and Improvement Method

ZHANG Penghui,ZHANG Kaihong

电子与封装 . 2018, (1): 8 -11 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2018.0003