基于RFID的数字化掩模制造

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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基于RFID的数字化掩模制造

张鹏，丁晗，沈天翊, 胡超

Digital Mask Manufacturing Based on RFID

ZHANG Peng，DING Han，SHEN Tianyi，HU Chao

电子与封装 . 2017, (8): 44 -48 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2017.0103