SADP工艺中一类特殊二维图形的分解处理

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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SADP工艺中一类特殊二维图形的分解处理

宋长庚

Pattern Decomposition Method for Special 2D Pattern in SADP Process

SONG Changgeng

电子与封装 . 2017, (2): 40 -42 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2017.0025