热波探针在离子注入表征上的应用

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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热波探针在离子注入表征上的应用

张蕊

Application of Thermal Wave Probe on the Monitor of Implantation

ZHANG Rui

电子与封装 . 2020, (8): 80403 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0809