中国半导体行业协会封装分会会刊
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先进节点接触层照明类型优化解决光刻制造要求
刘娟
1
，
2
Optimization of Contact Layer Illumination Type to Improve Lithography Manufacture
LIU Juan
1
，
2
电子与封装 . 2016, (
10
): 36 -38 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0119
