集成电路掩模分辨率增强技术

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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集成电路掩模分辨率增强技术

华卫群;周家万;尤春

Mask Resolution Enhancement Technologyfor IC

HUA Weiqun, ZHOU Jiawan, YOU Chun

电子与封装 . 2020, (11): 110402 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.1113