基于SOI的光电探测器设计与单片集成技术研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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基于SOI的光电探测器设计与单片集成技术研究

宋鹏汉, 张有润, 甄少伟, 周万礼, 汪煜

SOI-based Photodetector Design andMonolithic Integration Technology

SONG Penghan, ZHANG Yourun, ZHEN Shaowei, ZHOU Wanli, WANG Yu

电子与封装 . 2021, (8): 80302 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0809