中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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光刻机镜头漏光对光刻工艺的影响
梁宗文;石浩;王雯洁;王溯源;章军云
Impact of Lithography Lens Leakage onLithography Process
LIANG Zongwen, SHI Hao, WANG Wenjie, WANG Suyuan, ZHANG Junyun
电子与封装 . 2023, (4): 40401 .  DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0025