中国半导体行业协会封装分会会刊
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三维集成堆叠结构的晶圆级翘曲仿真及应用
谭琳,王谦,郑凯,周亦康,蔡坚
Wafer-Level Warpage Simulation and Applications of 3D Integrated Stacking Structure
TAN Lin, WANG Qian, ZHENG Kai, ZHOU Yikang, CAI Jian
电子与封装 . 2024, (
4
): 40201 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2024.0015