CMOS-MEMS薄膜热导率的测量

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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CMOS-MEMS薄膜热导率的测量

宋翔宇;许威

电子与封装 . 2022, (2): 20601 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0214