电子与封装 ›› 2022, Vol. 22 ›› Issue (2): 020601 . doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0214
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宋翔宇;许威
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宋翔宇;许威. CMOS-MEMS薄膜热导率的测量[J]. 电子与封装, 2022, 22(2): 020601 .
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