栅氧化方式对NMOS器件总剂量电离效应的影响

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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栅氧化方式对NMOS器件总剂量电离效应的影响

刘佰清，刘国柱，吴健伟，洪根深，郑若成

The Effect of Oxidation Methods on TID Radiation

LIU Baiqing,LIU Guozhu,WU Jianwei,HONG Gensheng,ZHENG Ruocheng

电子与封装 . 2017, (11): 44 -48 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2017.0137