掩模干法蚀刻参数的优化研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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掩模干法蚀刻参数的优化研究

华卫群;刘维维

Optimization of Mask Dry Etching Parameters

HUA Weiqun, LIU Weiwei

电子与封装 . 2020, (10): 100403 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.1013