深亚微米SOI工艺ESD防护器件设计

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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深亚微米SOI工艺ESD防护器件设计

米丹;周昕杰;周晓彬;何正辉;卢嘉昊

ESD Protection Device Design Based on Deep SubmicronSOI Technology

MI Dan, ZHOU Xinjie, ZHOU Xiaobin, HE Zhenghui, LU Jiahao

电子与封装 . 2021, (5): 50401 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0509