掩模可制造性规则检查的研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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掩模可制造性规则检查的研究

魏晓群;谢旦艳;华卫群

The Researchof Manufacturing Rule Check on Mask

WEI Xiaoqun, XIE Danyan, HUA Weiqun

电子与封装 . 2021, (9): 90401 - . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0910