Nikon Laser Step Alignment对准系统研究

doi:10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0812

电子与封装 ›› 2019, Vol. 19 ›› Issue (8): 044 -47. doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0812

• 微电子制造与可靠性 • 上一篇

Nikon Laser Step Alignment对准系统研究

罗涛

上海新进芯微电子有限公司,上海 200240

收稿日期:2019-04-17 出版日期:2019-08-20 发布日期:2020-01-09
作者简介:罗涛(1984—)，男，陕西人，光学硕士，工程师，主要从事半导体光刻制造工作。

Research on Laser Step Alignment System of Nikon Stepper

LUO Tao

Shanghai BCD Semiconductor Manufactures Co., Ltd., Shanghai 200240, China

Received:2019-04-17 Online:2019-08-20 Published:2020-01-09

摘要/Abstract

摘要： 介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式，即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发，介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用，搜索和增强型全局对准(EGA)，详细阐述了LSA的工作原理和其对工艺的影响，最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。

关键词: 对准, LSA, 标记, 指标

Abstract: Laser step alignment (LSA) is the most familiar alignment style in Nikon stepper. The function of the LSA system in Nikon stepper is introduced, and then the search algorithm and enhanced global alignment (EGA) algorithm is presented. The principle of the LSA system and the effect of the lithographic process are described in detail. Finally, the specification of the LSA system is introduced.

Key words: alignment, LSA, mark, specification

中图分类号:

TN305

罗涛. Nikon Laser Step Alignment对准系统研究[J]. 电子与封装, 2019, 19(8): 044 -47.

LUO Tao. Research on Laser Step Alignment System of Nikon Stepper[J]. Electronics & Packaging, 2019, 19(8): 044 -47.

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中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

Nikon Laser Step Alignment对准系统研究

Research on Laser Step Alignment System of Nikon Stepper

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