摘要： 当前半导体车间高频阻抗测试平台大多是多年前由国外设计开发，平台系统老旧落后，测试仪表已停产多年，亟需升级换代。简单介绍了安捷伦最新型的阻抗仪表E4982A与吉时利2410数字电源表以及高频阻抗原理。在Windows 7系统下通过VB编程成功搭建了新的国产化高频阻抗测试平台，并分享了系统关键技术与核心指令代码。经过大量的测试，新的高频阻抗测试平台不仅覆盖原有的功能，同时掌握了相关核心技术，更加适应未来的升级需求与生产信息化。
中图分类号:
邓长开，唐明津，胡义平. 安捷伦高频阻抗测试仪表E4982A测控技术应用[J]. 电子与封装, 2018, 18(6):
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DENG Changkai，TANG Mingching，HU Yiping. Measure and Control Application on Agilent E4982A RSRF Meter[J]. Electronics & Packaging, 2018, 18(6):
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