LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制

doi:10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0077

电子与封装 ›› 2016, Vol. 16 ›› Issue (7): 5 -9. doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0077

LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制

王运龙，刘建军，柳龙华，邱颖霞，王志勤

中国电子科技集团公司第38研究所，安徽合肥230088

收稿日期:2016-03-12 出版日期:2016-07-20 发布日期:2016-07-20
作者简介:王运龙（1988—），男，安徽界首人，毕业于中国科学技术大学，博士，工程师，主要从事微电路电路基板及组装工艺研究工作。

Evaluation and Control Method of Cavity Deformation in LTCC Green Tape Lamination Process

WANG Yunlong，LIU Jianjun，LIU Longhua，QIU Yingxia，WANG Zhiqin

China Electronics Technology Group Corporation No.38 Research Institute，Hefei 230088，China

Received:2016-03-12 Online:2016-07-20 Published:2016-07-20

摘要/Abstract

摘要： 以含有腔体结构的LTCC叠层生瓷为研究对象，介绍了腔体在层压形变的评价和控制方法。分析了LTCC空腔在层压时产生变形的主要影响因素。阐述了在生瓷表面上增加金属掩模板来控制腔体形变的叠层结构设计。有限元分析结果表明不锈钢掩模可使腔体边缘应变降低至无掩模时应变的1/6，并通过工艺试验验证了金属掩模板的有效性。结果表明合理的层压结构设计和恰当的层压工艺可以制作出满足尺寸精度的空腔结构。

关键词: 低温共烧陶瓷, 腔体形变, 金属掩模

Abstract: In the paper，the evaluation and control method of cavity deformation occurred during LTCC green tape lamination process is introduced.By analyzing the factors affecting the deformation in the laminating process，an architectural design is proposed to control the cavity deformation by adding the metal mask on the surface of the green tape.The finite element analysis results show that the stainless steel mask reduces the strain at the edge of the cavity to 1/6 that of the original.The method of using metal mask plate is verified by technological tests.The paper then concludes that requested LTCC cavity is obtainable through reasonable laminating structure design and appropriate technological parameter.

Key words: low temperature co-fired ceramics, cavity deformation, metal mask plate

中图分类号:

TN305.7

王运龙, 刘建军, 柳龙华, 邱颖霞, 王志勤. LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制[J]. 电子与封装, 2016, 16(7): 5 -9.

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中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制

Evaluation and Control Method of Cavity Deformation in LTCC Green Tape Lamination Process

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