摘要: 通过等离子轰击可以有效提高金丝键合的可靠性。氩气等离子清洗后,基板容易金丝键合,破坏性拉力测试后键合点留压点,键合力有明显提高。5880基板最优的清洗参数是功率200 W,清洗时间600 s,气体流量150 ml/min,并且等离子处理之后2 h内完成键合,效果最佳。
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曾玉梅,王康,李宏艳. 提高基板键合可靠性的等离子清洗工艺研究[J]. 电子与封装, 2017, 17(7):
40 -42.
ZENG Yumei, WANG Kang, LI Hongyan. Research of Substrate Cleaning Process for Better Wire Bonding Reliability[J]. Electronics & Packaging, 2017, 17(7):
40 -42.