摘要： 激光调阻具有高效率、高精度,是目前制备高精度印刷电阻的通用方法,广泛应用于厚膜集成电路、厚膜传感器等。L型切割精度高,阻值稳定性好,是最常用的调阻切割路径。对不同L型切割尺寸切割后的电阻进行仿真,分析电阻上的电流密度和发热功率分布,得到的结果与实际经验吻合很好,对L型切割路径参数设置具有指导意义。
中图分类号:
刘建军，王运龙. 激光调阻L型切割的仿真分析[J]. 电子与封装, 2016, 16(2):
37 -39.
LIU Jianjun, WANG Yunlong. Simulation Analysis of Laser Trimming Using L-Cut[J]. Electronics & Packaging, 2016, 16(2):
37 -39.
