eFuse熔丝电阻值的测量方法

doi:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1013

电子与封装 ›› 2022, Vol. 22 ›› Issue (10): 100204 . doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1013

eFuse熔丝电阻值的测量方法

晏颖¹;张睿²

1. 上海华力集成电路制造有限公司，上海　201316；2. 浙江大学微纳电子学院，杭州　310014

收稿日期:2022-04-26 出版日期:2022-10-26 发布日期:2022-05-26
作者简介:晏颖（1970—），男，湖南岳阳人，硕士，高级工程师，主要研究方向为模拟电路、存储器研究及设计、IP可靠性分析与测试；

Method for Measurement of FuseResistance Value in eFuse

YAN Ying¹, ZHANG Rui²

1.Shanghai HuaLi Microelectronic Corporation, Shanghai 201316, China; 2.School of Micro-Nano Electronics, Zhejiang University, Hangzhou310014, China

Received:2022-04-26 Online:2022-10-26 Published:2022-05-26

摘要/Abstract

摘要： 作为电编程熔丝（eFuse）中的存储介质，熔丝的电阻值用来表征所存储的数据。2种采用5端口法设计的测试单元被用来测量eFuse单元中熔丝的电阻值以及编程控制管的特性参数，并应用于后续通过测试芯片测量eFuse中熔丝电阻的方案中，以间接测量eFuse编程通路的电阻值并消除漏电电流影响的方式准确推算出熔丝的电阻值。最后，提出了一种在常规eFuse中增加辅助电路来测量熔丝电阻值的设计方案及测量方法。

关键词: 电编程熔丝, 熔丝, 电阻值测量

Abstract: As the storage medium in the electrical programming fuse (eFuse), the resistance value of the fuse is used to characterize the stored data. Two test units designed with 5-port method are proposed to measure the resistance value of the fuse in the eFuse unit and the characteristic parameters of the programming control tube, and are applied to the subsequent schemes of measuring the fuse resistance in eFuse by the test chip. The schemes accurately obtain the fuse resistance by indirectly measuring the resistance of bit programming path in eFuse and eliminating the influence of leakage current. Finally, a design scheme and measurement method of adding an auxiliary circuit to the conventional eFuse for the measurement of fuse resistance value are proposed.

Key words: electrical programming fuse, fuse, resistance value measurement

中图分类号:

TN305.94

晏颖, 张睿. eFuse熔丝电阻值的测量方法[J]. 电子与封装, 2022, 22(10): 100204 .

YAN Ying, ZHANG Rui. Method for Measurement of FuseResistance Value in eFuse[J]. Electronics & Packaging, 2022, 22(10): 100204 .

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中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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Method for Measurement of FuseResistance Value in eFuse

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