一种新型热导式氧气浓度测量方法

doi:10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0038

电子与封装 ›› 2016, Vol. 16 ›› Issue (3): 45 -47. doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0038

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一种新型热导式氧气浓度测量方法

钱江蓉，陈丛，许磊，胡国俊

中国电子科技集团公司第38研究所，合肥 230088

收稿日期:2015-09-10 出版日期:2016-03-20 发布日期:2016-03-20
作者简介:钱江蓉（1976—），女，湖北人，博士学历，专业研究方向为微电子机械系统、微流体等。

A New Type Thermal Method for Oxygen Concentration Measurement

QIAN Jiangrong, CHEN Cong, XU Lei, HU Guojun

China Electronics Technology Group Corporation No.38 Research Institute, Hefei 230088,China

Received:2015-09-10 Online:2016-03-20 Published:2016-03-20

摘要/Abstract

摘要： 探讨了多种氧气浓度的测量方法，基于微米尺寸悬膜电阻和热传导原理设计了一种新型的热导式氧气浓度测量方法。使用精细微机械加工的悬膜电阻，使得关键元件功耗和成本大为降低。经过仿真模拟和初步实验验证，热导式微型氧气传感器可精确检测较高的氧气浓度。

关键词: 氧气浓度, 微电子机械系统, 热导

Abstract: The paper investigated multiple methods for oxygen concentration measurement. A new method for oxygen concentration sensing using micro size suspending film resistor and transduction principle is designed. The thin film resistor fabricated with micro mechanic process can reduce system power consumption and enhance the working stability. With simulation and preliminary experiment verification, the proposed oxygen sensor is proved to detect high oxygen concentration accurately.

Key words: oxygen concentration, MEMS, heat transduction

中图分类号:

TN305

钱江蓉，陈丛，许磊，胡国俊. 一种新型热导式氧气浓度测量方法[J]. 电子与封装, 2016, 16(3): 45 -47.

QIAN Jiangrong, CHEN Cong, XU Lei, HU Guojun. A New Type Thermal Method for Oxygen Concentration Measurement[J]. Electronics & Packaging, 2016, 16(3): 45 -47.

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中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

一种新型热导式氧气浓度测量方法

A New Type Thermal Method for Oxygen Concentration Measurement

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