摘要： 低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fre Ceramic，LTCC)技术具有集成无源元件的优势。LTCC内埋电阻因其内部埋置的特点，无法实现烧结后精确调阻，对印刷工艺水平要求较高，且波动范围较大。主要讨论了印刷工艺下影响电阻的各参数引起的电阻波动范围，提出并采用一种印刷后激光修调电阻的方式，使内埋电阻的阻值波动范围控制到±16%。
中图分类号:
杨兴宇,张艳辉,乔璐,贾少雄,李俊. 激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制[J]. 电子与封装, 2020, 20(6):
060203 .
YANG Xingyu, ZHANG Yanhui, QIAO Lu, JIA Shaoxiong, LI Jun. The Tight Control of LTCC Buried Resistor by Laser Trimming[J]. Electronics & Packaging, 2020, 20(6):
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