电子与封装 ›› 2022, Vol. 22 ›› Issue (7): 070401 . doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0705
邱一武1,吴伟林1,颜元凯1,周昕杰1,黄伟2
QIU Yiwu1, WU Weilin1, YAN Yuankai1, ZHOU Xinjie1, HUANG Wei2
摘要: 利用60Co γ射线对P型栅增强型氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)开展零偏置状态下总剂量辐射试验及常温退火试验,测试GaN HEMT直流特性参数对总剂量效应(TID)的响应规律。试验结果表明,γ射线辐照后器件阈值电压、跨导峰值和饱和漏极电流发生不同程度的退化,而栅泄露电流和导通电阻变化甚微。在剂量为0.6 Mrad(Si)的条件下,经过120 h的退火试验,器件阈值电压未发生明显的恢复,跨导峰值反而有轻微退化的趋势。从试验数据可知,器件直流特性退化主要是由于辐照引起二维电子气(2DEG)浓度下降,载流子迁移率降低,感生界面态陷阱导致。研究结果对GaN HEMT器件宇航应用可靠性的评估给予了有益参考。
中图分类号: