中国半导体行业协会封装分会会刊
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FinFET/GAAFET/CFET纳电子学的研究进展
赵正平
Research Progress in FinFET/GAAFET/CFET Nanoelectronics
ZHAO Zhengping
电子与封装 . 2024, (
8
): 80401 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2024.0094