选择性激光诱导刻蚀三维微结构研究进展

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选择性激光诱导刻蚀三维微结构研究进展

尹春燕1, 刘靖立1, 纪松祥1, 窦广彬1, 2

Advances in Selective Laser-Induced Etching of Three-Dimensional Microstructures

YIN Chunyan1, LIU Jingli1, JI Songxiang1, DOU Guangbin1, 2

电子与封装 . 0, (): 0 -0 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2027.0061