中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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MTM反熔丝薄膜单项工艺DOE试验设计开发方法
郑若成, 曾庆平, 吴素贞, 王印权, 吴建伟, 徐海铭, 洪根深
The Design of Experiment (DOE) Method for MTM Anti-fuse Film Process Development
ZHENG Ruocheng, ZENG Qingping, WU Suzhen, WANG Yinquan, WU Jianwei, XU Haiming, HONG Genshen
电子与封装 . 2018, (9): 45 -48 .  DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2018.0104