二手设备在半导体集成电路产业中的应用

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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二手设备在半导体集成电路产业中的应用

马慧红，汤偲愉

Application of Second-hand Equipment in the IC Industry

MA Huihong,TANG Siyu

电子与封装 . 2018, (3): 44 -47 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2018.0034