一种改善器件性能的Halo工艺

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

导航

一种改善器件性能的Halo工艺

徐政，李红征，赵文彬

Study of Halo Technology in Improving Device Performance

XU Zheng,LI Hongzheng,ZHAO Wenbin

电子与封装 . 2016, (9): 35 -39 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0108