CMOS工艺中等离子体损伤WAT方法研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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CMOS工艺中等离子体损伤WAT方法研究

陈培仓,徐政,李俊

Studies on Testing Plasma Damages in WAT in CMOS Technology

CHEN Peicang,XU Zheng,LI Jun

电子与封装 . 2016, (6): 31 -35 .