LTCC过程控制监测技术研究

doi:10.16257/j.cnki.1681-1070.2026.0123

电子与封装

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LTCC过程控制监测技术研究

沐方清^1,2，戴前龙²，李峰^1,2

1．中国电子科技集团公司第四十三研究所安徽省微系统重点实验室，合肥 230088；2．中国电子科技集团公司第四十三研究所，合肥 230088

收稿日期:2026-01-18 修回日期:2026-03-16 出版日期:2026-03-18 发布日期:2026-03-18
通讯作者: 沐方清
基金资助:
安徽省科技攻坚计划（202423i08050005）

Technology Research of LTCC Process Control Monitor

MU Fangqing^1,2，DAI Qianlong², LI Feng^1,2

1．中国电子科技集团公司第四十三研究所安徽省微系统重点实验室，合肥 230088；2．中国电子科技集团公司第四十三研究所，合肥 230088

Received:2026-01-18 Revised:2026-03-16 Online:2026-03-18 Published:2026-03-18
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摘要/Abstract

摘要： 过程控制监测（PCM）是大规模集成电路生产中对工艺进行全面测量和控制的工具。针对低温共烧陶瓷（LTCC）的结构和制作工艺特点，设计出适合LTCC基板制作的金导体膜层、线宽精度和电阻等PCM测试图形，通过对键合强度、膜层厚度、线宽、电阻等性能等进行检测，掌握工艺过程的受控程度，及时对工艺状态进行调整，稳定LTCC基板制作的工艺水平，提高了产品质量和成品率。

关键词: 低温共烧陶瓷, 过程控制监测, 统计过程控制, 膜层厚度, 线宽

Abstract: Process control monitor (PCM) is a tool to measure and control in the production of large scale integrated circuit. According to characteristics of the structure and process of low-temperature co-fired ceramic (LTCC), the PCM test patterns were designed of gold conductor film、precision of line width and resistors etc of LTCC substrate, by testing the performances of bonding strength, thickness of film, precision of line width and resistance and so on, mastered the degree under control of the process, adjusted the process state timely. The manufacturing technology level of LTCC substrate was stabilized, then the quality and yield of the product were improved.

Key words: low-temperature co-fired ceramic, process control monitor, statistical process control, thickness of film, line width

沐方清1, 2, 戴前龙2, 李峰1, 2. LTCC过程控制监测技术研究[J]. 电子与封装, doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2026.0123.

MU Fangqing1, 2, DAI Qianlong2, LI Feng1, 2. Technology Research of LTCC Process Control Monitor[J]. Electronics & Packaging, doi: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2026.0123.

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中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

中国半导体行业协会封测分会会刊

无锡市集成电路学会会刊

LTCC过程控制监测技术研究

Technology Research of LTCC Process Control Monitor

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