摘要: 针对IC(集成电路)芯片烘箱在温度控制中因腔体均匀性差导致调节效率低的问题,在烘箱温度控制程序中引入了对初始条件不敏感、能够寻求全局最优解的自适应在线遗传算法PID控制策略。通过对改进前后两种设备的算法模型进行实测数据对比分析,证明采用遗传PID控制方案的设备性能要远优于采用传统PID方案的设备,其温度调节速率明显提高,并具有良好的动态特性和鲁棒性。
中图分类号:
梁达平1,赵利民1,蔡志元2. 基于遗传算法的PID控制在IC芯片烘箱中的应用*[J]. 电子与封装, 2018, 18(11):
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LIANG Daping1,ZHAO Limin1,CAI Zhiyuan2. Design of a PID Controller of IC Oven on Genetic Algorithm[J]. Electronics & Packaging, 2018, 18(11):
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