摘要: 微波组件中的基板烧结有多种方式,但普遍存在烧结空洞率难以控制的问题,从而使产品质量和性能无法达到预定要求。采用真空烧结方法以解决基板烧结中空洞率高的问题,通过对基板烧结中造成空洞的原因进行试验分析,针对不同因素采取不同的措施。同时对基板烧结工艺进行了较为系统的研究,详细阐述了基板真空烧结的工艺过程,总结了工艺流程,并对工艺细节作出了详细说明。
中图分类号:
魏玉娟. 基板烧结中的空洞问题及措施[J]. 电子与封装, 2020, 20(4):
040203 .
WEI Yujuan. Problem of Void Rate in Substrate Sintering and Its Measures[J]. Electronics & Packaging, 2020, 20(4):
040203 .