摘要: 高压模拟开关在现代超声领域发挥关键作用。综合考量传输速度、导通电阻、通道隔离度等性能指标,利用红外热成像技术解决了电路漏电的失效问题。该技术包括红外热成像、漏电失效分析、漏电测试、器件原理分析及漏电解决方案等措施,提出了高压模拟开关器件漏电失效问题的通用解决方法,对高压模拟开关漏电失效问题的解决具有较高的参考价值。另外,该方法通过对器件内部工艺结构的分析,发现了器件漏电失效的本质因素,对后续器件工艺结构的改进具有一定的指导意义。
                                                        
                              
                             
                            
                            																								
								
																中图分类号: 
																 
								
								
																                            
                            
                                
                                    
                                
                                
                                    
                                        															黄立朝;阎燕山;程绪林;张如州. 一种高压模拟开关漏电失效解决方法[J]. 电子与封装, 2021, 21(4): 
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																																									     												                                                                                                        	                                                                                                                      HUANG Lichao, YAN Yanshan, CHENG Xulin, ZHANG Ruzhou. Leakage FailureAnalysis Based on High Voltage Analog Switch[J]. Electronics & Packaging, 2021, 21(4): 
														   040404														   .