一种耐高温MEMS加速度传感器

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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一种耐高温MEMS加速度传感器

张旭辉1, 李明昊2, 任臣1, 陈琳2, 杨拥军1, 2

High-temperature MEMS Acceleration Sensor

ZHANG Xuhui1, LI Minghao2, REN Chen1, CHEN Lin2, YANG Yongjun1, 2

电子与封装 . 0, (): 0 -0 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2025.0174