硅外延工艺对表面粗糙度影响研究

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硅外延工艺对表面粗糙度影响研究

王银海, 马梦杰, 李国鹏

Influence of Silicon Epitaxial Process on Surface Roughness

WANG Yinhai, MA Mengjie, LI Guopeng

电子与封装 . 0, (): 0 -0 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2026.0109