基于NEG薄膜的真空MEMS器件高真空维持技术综述

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基于NEG薄膜的真空MEMS器件高真空维持技术综述

陈洋, 李春波

Review of High-Vacuum Maintenance Technology for Vacuum MEMS Devices Based on NEG

CHEN Yang, LI Chunbo

电子与封装 . 0, (): 0 -0 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2027.0001