GaAs通孔刻蚀微掩模形成机理研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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GaAs通孔刻蚀微掩模形成机理研究

高渊

The Research of Micro Mask Formation Mechanism in GaAs Via Etching Process

GAOYuan

电子与封装 . 2019, (7): 37 -39 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.0710