电子束曝光邻近效应修正研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

导航

电子束曝光邻近效应修正研究

尤　春，刘维维

Proximity Effect Correction in E-Beam Lithography

YOU Chun, LIU Weiwei

电子与封装 . 2018, (10): 40 -43 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2018.0115