溅射设备腔室处理工艺的优化研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

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溅射设备腔室处理工艺的优化研究

王海东

The Optimization Study on Process Flow of Sputter Equipment Chamber

WANG Haidong

电子与封装 . 2016, (4): 45 -47 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2016.0050