硅外延电阻率测试稳定性研究

中国半导体行业协会封装分会会刊

中国电子学会电子制造与封装技术分会会刊

导航

硅外延电阻率测试稳定性研究

杨帆;黄宇程;王银海;潘文宾

Research on the Stability of Silicon EpitaxialResistivity Test

YANG Fan, HUANG Yucheng, WANG Yinhai, PAN Wenbin

电子与封装 . 2020, (12): 120404 . DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.1209