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陆素先,程淩,朱琪,李现坤,李娟,严正君
LU Suxian, CHENG Ling, ZHU Qi, LI Xiankun, LI Juan, YAN Zhengjun
摘要: 在静电放电(ESD)防护结构中,栅极接地NMOS(GGNMOS)器件具有结构简单、响应迅速、高效泄放等多方面的优势,逐渐成为ESD防护结构中最常用的器件。但辐照试验时NMOS器件会受到多种辐射效应的影响导致器件性能和可靠性下降。因此抗辐射电路中GGNMOS器件的保护结构设计尤为困难。基于0.18 μm BCD工艺,设计了一款有抗辐射需求的线性稳压器电路。根据各端口电压和工作特点设计该电路全芯片的ESD防护结构,通过试验分析得出GGNMOS保护结构的薄弱点并提出改进方案。根据实测结果显示,所设计的电路不仅满足100 krad(Si)的总剂量指标,还通过了2.5 kV的人体模型ESD测试。该研究为以后抗辐射电路中ESD器件设计提供了实验依据和理论指导。