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谢林毅1,粟浪1,程佳2,黄青树1,冉亮2
XIE Linyi1, SU Lang1, CHENG Jia2, HUANG Qingshu1, RAN Liang2
摘要: 功率器件作为电力电子系统的核心元件,其可靠性至关重要。当前针对功率器件在温度循环(TC)载荷下的失效机理研究尚显不足。为此,采用试验表征与失效机理分析相结合的方法,研究功率器件在温度循环载荷下的失效模式与失效机制,为后续功率器件的可靠性设计与寿命预测提供理论依据与技术参考。首先,阐述了TC实验的基本原理、实验目标及实施方法;随后,对器件实施TC实验,获取实验后的电性参数,并对所得数据进行系统性的分析。同时,对电性失效的器件通过失效分析技术发现钝化层的破裂会使得湿气入侵芯片内部,最终导致器件的热击穿失效。最后,从材料与工艺层面给出了相应的钝化层改善方向,为产品的研究提供技术参考。