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卢品静1,2,雷雨3,黄晓龙3,余四文1,程昱川1,任勇2,郭建军1,孙爱华1
LU Pinjing¹,², LEI Yu³, HUANG Xiaolong³, YU Siwen¹, CHENG Yuchuan¹, REN Yong², GUO Jianjun¹, SUN Aihua¹
摘要: 弯液面限域电化学沉积技术作为一种新兴的增材制造技术,是一种在空气环境下即可实现限定区域内微米甚至纳米尺度金属结构的三维打印方法。其原理是在装有金属盐溶液的针尖与基底接触后建立的微/纳米尺度弯液面内发生氧化还原反应,金属离子在阴极表面被还原为金属单质,同时通过控制针尖与基底的相对运动,可以实现二维或三维金属结构的原位成型。影响弯液面限域电化学沉积的主要因素有针尖尺寸、电流密度、电解液组成、环境温湿度及打印速度等。这项技术已实现铜、镍、钴及半导体硫化物等多种功能材料的沉积,有望在电子封装、柔性电子、光伏能源领域实现小批量应用,成为微结构制造与功能集成相结合的核心技术之一,并为未来先进封装提供有力的技术支撑。