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刘泓利,代岩伟,秦飞
LIU Hongli, DAI Yanwei, QIN Fei
摘要: 面向集成电路领域的高环境适应性与高集成度需求,对封装器件的湿可靠性问题与多尺度问题的研究尤为重要。电子封装结构的高密度金属布线与平面设计是影响湿扩散的主要因素。以集成电路典型封装结构为研究对象,应用基于封装结构版图的高保真有限元建模方法,旨在精确复杂互连结构的分布对封装内部湿气扩散路径的影响。基于菲克扩散方程与热传导方程在数学上的相似性,采用热传导分析模块类比模拟湿气在有机封装材料与金属材料之间的扩散行为。高保真有限元建模方法随着封装结构版图分辨率的增高面临与建模效率之间的平衡问题,经验证将分辨率控制于100×100至200×200区间时,建模时间可大幅降至425×425高分辨率模型的6.044%,同时仍保持与其相当的精度。数值模拟结果表明,湿气在封装结构中的扩散行为受到隔湿性材料的分布特征引导。该方法可发展应用于三维堆叠结构,研究结果可指导电子封装器件湿环境抗性的结构版图优化设计。